CP 测试总结
一、基本定义与测试对象
定义:CP 测试是在晶圆制造完成后、封装前的阶段,通过探针接触晶圆上每个裸片的引脚,进行电气性能测试的过程。
测试对象:针对整片晶圆上每一个未切割的裸片(Die),测试其电压、电流、时序、功能等参数是否符合设计规格。
二、测试工艺流程
晶圆对准:将晶圆放置在探针台上,通过高精度定位系统对齐每个 Die 的测试点。
探针接触:探针卡(Probe Card)的微探针与 Die 的金属 Pad 或 Bump 接触,建立电气连接。
信号施加与采集:测试机(ATE)向 Die 施加输入信号,并采集输出信号,验证功能及参数(如阈值电压、导通电阻等)。
结果标记:根据测试结果,探针台对不合格 Die 进行墨点标记或记录位置。
三、核心设备
四、探针卡类型及特点
同轴探针卡(Coaxial Probe Card):专门设计用于高频和射频(RF)测试,具有同轴结构,可减少信号损失和干扰,提高测试准确性。
定制探针卡(Custom Probe Card):根据特定测试需求定制,适用于具有特殊测试要求或测试环境的情况,如特定的封装类型、测试频率范围或接触点布局。
微针探针卡(Micro-Probe Card):使用微小探针,适用于微小封装和精细间距的测试。
无线探针卡(Wireless Probe Card):传统探针卡通过物理接触传输数据,而无线探针卡概念逐渐发展,通过无线方式(如电感应、射频等)与被测器件进行数据传输,适用于嵌入式测试或难以进行物理连接的环境。