4、电子显微镜相关技术：从可变压力探测器到纳米颗粒分析

电子显微镜相关技术：从可变压力探测器到纳米颗粒分析

1. 可变压力/环境扫描电子显微镜的二次电子探测器

1.1 背景与需求

传统扫描电子显微镜（SEM）是真空仪器，对于未沉积导电层的绝缘样品或含有高蒸汽成分（如水）的样品存在检测限制。可变压力/环境扫描电子显微镜（VP/E SEM）可在样品室保持较高气压，同时电子光学柱维持高真空，解决了传统SEM的部分局限。但VP/E SEM需要能在较高气压下工作的电子检测系统。

1.2 探测器设计理念

为了将传统仪器的功能扩展到VP/E技术，研究人员设计了一种真空 - 探测器系统，它是一个简单的附件，可安装在传统SEM上而不改变其原始结构。该系统的主要部分是真空和检测头，结合了中间腔室和选定类型的电子探测器。研究人员对具有单电位透镜结构的二次电子（SE）探测器进行了研究，以找到适用于从高真空到超过10 hPa的广泛气压范围的最佳解决方案。

1.3 VP条件下SE探测器的概念

样品室中的气体氛围会导致电子束散射，从而降低图像质量。减少样品与下节流孔（LTA）之间的距离$l_a$是抵消这种影响的优选方法，但这会导致典型气态SE探测器（GSED）产生的SE信号严重下降。因此，需要通过LTA进行更有效的SE检测来补偿信号损失。研究人员通过蒙特卡罗程序与商业软件包SIMION 3D结合（称为MC - SIMION）进行的一系列数值计算，为更乐观的观点提供了初步依据。

计算的对象是一个简单的三电极聚焦系统中的电子流。在该系统中，一个圆形阳极（直径为$D_a$）插入与阴极（即样品台）平行的扁平聚焦电极（偏压为0 V）中，并位于距离$l_a$处。电子流的宽度可以用所谓的