
SEMI
文章平均质量分 87
笨笨561
这个作者很懒,什么都没留下…
展开
专栏收录文章
- 默认排序
- 最新发布
- 最早发布
- 最多阅读
- 最少阅读
-
SEMI E94-0200 PROVISIONAL SPECIFICATION FOR CONTROL JOB MANAGEMENT(控制作业管理暂行规范)
定义在设备上执行的一个工作单元,涉及一个或多个载具。该工作由一组应用于载具内物料的工艺作业构成。"N" = 通知(Notification)"R" = 请求与响应(Request & Response)REQ/IND(请求/指示)符号含义备注强制参数——必须赋予有效值条件参数——在特定场景下有定义,其他场景未定义。赋值可能可选或依赖其他参数值用户自定义参数该参数未使用(仅用于响应)响应中此参数值必须与主参数值(如已定义)匹配响应消息专用约束条件。原创 2025-05-09 12:05:22 · 925 阅读 · 1 评论 -
SEMI E40-0200 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT(加工管理标准)-(三)完结
所支持的能力允许灵活管理覆盖多种工艺类型的自动化处理,但具体实现可能仅需这些能力的一个子集。不同,此服务允许任务间存在差异,适用于需为不同物料或工艺需求定制化处理的场景。根据具体加工代理(Processing Agent)的能力调整请求。根据具体加工代理(Processing Agent)的能力调整请求。:确保表3中定义的任务属性(如状态、配方参数等)实时更新。,每个任务均可独立定义其参数(如配方、启动模式等)。:从队列中移除一个或多个加工任务。:监督者(服务使用方)请求加工资源执行一个加工任务。原创 2025-05-08 21:23:16 · 1111 阅读 · 0 评论 -
SEMI E40标准的加工任务状态模型(Process Job State Model)解析
半导体制造设备的自动化控制离不开对加工任务(Process Job)的精细管理。SEMI E40标准定义了加工任务的全生命周期状态模型。分层建模,支持嵌套与并发子状态,确保复杂流程的灵活控制。SEMI E40通过。原创 2025-05-08 16:14:04 · 957 阅读 · 0 评论 -
E40 Process Job Attributes解析
E40 Process Job Attibutes表解析原创 2025-05-08 15:31:19 · 933 阅读 · 0 评论 -
SEMI E40-0200 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT(加工管理标准)-(二)
本章定义监督实体(Supervisor)与加工资源(Processing Resource)为实现物料加工所需的高层级通信逻辑,不涉及具体消息细节(详见第10章消息服务)。若同一物料的加工任务被另一加工任务替代且无需后处理,则原任务在物料仍存在时成功终止。加工管理的行为规范完全由加工资源(服务提供方)的状态模型定义,监督者(服务使用方)的行为可通过该模型推导得出。状态的并发子状态,与加工任务执行并行存在,包含描述任务暂停/恢复行为的活跃子状态。状态的并发子状态,包含描述加工任务终止行为的活跃子状态。原创 2025-05-08 15:27:31 · 1293 阅读 · 0 评论 -
SEMI E40-0200 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT(加工管理标准)-(一)
5.1 Harel状态模型 —— 本文件采用Harel状态图标记法描述定义对象的动态行为。该标记法的概述详见SEMI E30附录,完整形式化定义可参考David Harel 1987年发表于《计算机编程科学》第8期的论文《Statecharts: A Visual Formalism for Complex Systems》。5.1.1 Harel标记法未包含状态模型"创建(creation)"与"删除(deletion)"的概念以表示瞬态实体。本文所述的"加工任务(job)"即为此类实体——每个新建任务均原创 2025-05-08 13:58:08 · 771 阅读 · 0 评论 -
FA系列 - S5F1 (Alarm Report Send) 一点小疑问
本文介绍了在Alarm Send时候,后面跟上报的S6F11的原因原创 2022-07-17 22:52:52 · 1240 阅读 · 1 评论 -
FA系列-ProcessJob与Control Job的理解
在FA部分的开发中,用到了Process Job, Control job的概念,通过查阅相关资料,有了初步了解,作了一个小笔记。原创 2022-07-17 22:21:02 · 6865 阅读 · 4 评论