一、项目背景
随着半导体制造自动化水平的提升,SECS/GEM 协议作为业界标准的设备通信协议,在晶圆厂、面板厂、封测厂等自动化生产线中广泛应用。最近,我参与了某半导体设备的 SECS/GEM 客户端模块开发任务,结合这段时间的调试和开发过程,记录一些实用经验和常见问题,供同行参考。
二、SECS/GEM 协议简介
SECS(SEMI Equipment Communications Standard)
是一套用于制造设备与主控系统(Host)之间通信的协议标准,分为:
SECS-I(RS-232串口)
HSMS(High-Speed SECS Message Services,基于TCP)
GEM(Generic Equipment Model)
是对设备行为的标准定义,如设备状态模型、报警机制、数据采集、远程控制等。
在实际项目中,我们一般使用 HSMS-SS(HSMS Single Session) 来建立基于TCP的可靠通信。
三、开发环境与技术栈
操作系统:Windows 10 / Windows Server
编程语言:C++
通信库:HSMS实现自研(也可使用第三方,如 SECSharp for C#)
测试工具:SEComEnabler.SEComSimulator
四、核心开发模块
连接管理模块
实现HSMS连接握手(Select.req/Select.rsp)
断线重连策略与超时处理
消息封装与解包
SECS-II消息格式封装
支持常用的StreamFunction(S1F1、S1F13、S2F41、S6F11等)
设备模型实现
报警定义(Alarm Definition)
事件报告(Event Report Linking)
状态模型(Equipment Status)
上位系统联调
Host模拟器对接
SVID/CEID确认
Event report数据一致性验证
五、调试与排查技巧
- 抓包工具使用
Wireshark 过滤端口:tcp.port == 5000
可观察SECS封包结构,确认是否正确发出 S1F13(Are You There)等 - 常见错误排查
问题 原因 解决方案
Select.req 无响应 对端未启动或未监听 检查IP/端口/防火墙
S1F13 发出后无回应 报文格式错误或未完成握手 确认连接状态和报文长度
上位机接收不到事件 CEID未绑定或事件未触发 检查绑定配置及设备触发逻辑
六、开发心得
日志记录很关键:SECS/GEM通信调试复杂,建议记录原始HSMS封包及逻辑层解码信息。
强制协议一致性:与上位系统统一Stream/Function约定,并文档化。
模拟器先行:开发阶段可使用模拟器对接,加速调试过程。
状态机设计很重要:设备状态(Standby/Run/Error等)需要清晰建模,否则Event Report易错。
七、结语
SECS/GEM 协议在工业自动化和智能制造中的作用愈发重要。通过此次项目,我对该通信协议有了更深入的理解。希望这篇文章能为正在从事或即将参与 SECS/GEM 项目的你提供一些参考与帮助。