半导体测试基础 - OS 测试

开路与短路测试（OS，Open-Short Test，也称连续性或接触测试），用于 验证测试系统与器件所有引脚的电接触性，且不会与其他引脚、与电源（地）发生短路。OS 测试能快速检测出 DUT 是否存在电性物理缺陷，如引脚短路、bond wire 缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等；也能检测出与测试配件有关的问题，如 ProbeCard 或器件的 Socket 接触有问题。

OS 测试的过程是借用对 VDD 和对地保护二极管进行的。一般有两种测试方法，一种是用 PMU 灌入电流测电压；一种是用功能测试的方法提供 VREF，形成动态负载电流再测电压的。

OS 测试 - 静态法

串行 / 并行静态法测试 OS，实际上就是灌入电流测电压，因为这个电流会让上下某个保护二极管发生正偏，所以可以通过检测正偏压降来测出开短路异常。施加正电流使对电源二极管正偏 的测试示意图如下：

测试流程如下：

1. 将 DUT 所有引脚（包括电源和地）接地。
2. PMU 给引脚施加电流（约 100µA）。
3. 检测引脚电压
   • 高于 VOH（+1.5V）：Fail（Open）
   • 低于 VOL（+0.2V）：Fail（Short）
   • 其他区间（正偏电压，比如 0.65V）：Pass

施加负电流使对地二极管正偏 的测试示意图如下：

测试流程如下：

1. 将 DUT 所有引脚（包括电源和地）接地。
2. PMU 给引脚施加电流（约 -100µA）。
3. 检测引脚电压
   • 高于 VOH（-0.2V）：Fail（Short）
   • 低于 VOL（-1.5V）：Fail（Open）
   • 其他区间（正偏后的压降约 -0.65V）：Pass

因 PMU 提供的是恒流，所以需要设置电压钳，以钳制住开路引脚测试时产生的电压，否则电压会无穷大。如果钳制电压设置为 3V，那么当一个引脚为开路时，其测试结果就是 3V。

这种方法仅限于测试信号 IO 引脚，不能用于测试电源引脚。电源引脚虽然也可在开路条件下进行测试，但因其内部结构不同，需要设定不同的测试限度。

综上，OS 静态测试的特点是：

• 串行法一次只测一个引脚，步骤简单但效率低，适用于引脚少的 DUT。
• 并行法需要测试系统有 PPMU，缺点是检测不出相邻引脚短路，解决方法是分两次测试（比如第一次测 1357 引脚，第二次测 2468 引脚）。
• 施加电流，测量电压。