传感器研发基础:电容式位移传感器的工作原理详解

电容式位移传感器的工作原理,核心是利用电容器的电容特性,将被测物体的位移变化转化为电容值的变化,再通过后续信号处理电路将电容变化转换为可测量的电信号(如电压、电流),最终实现位移的定量检测。其本质是基于 “平行板电容器的电容公式”,通过位移改变电容的关键参数,进而建立 “位移 - 电容” 的对应关系。

一、基础:平行板电容器的电容公式

电容式位移传感器的核心模型是平行板电容器,其电容值(C)由以下公式决定: 公式中各参数的意义的是理解原理的关键:

  • C:电容器的电容值(单位:法拉 F,实际传感器中多为皮法 pF 或飞法 fF 级);
  • 真空介电常数(固定值,约);
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