xps数据怎么导出为txt_如何处理XPS原始数据

盼了好久，终于盼来了XPS的分峰拟合教程！

拿到XPS的实验结果，首先我们要会看XPS高分辨谱原始数据

XPS高分辨谱的原始数据一般为“.xls”文件，打开该文件，我们可以看到各种特定元素的高分辨谱及对它们进行半定量分析的原始数据。如下图：

记住，在进行分峰拟合前，我们需先对原始数据进行荷电校准

校准时一般用外来污染碳(284.8 eV)作为基准，所用工具为“Origin”软件。

首先，我们将各元素的高分辨谱的“关键数据(各元素的结合能和谱峰强度)”拷贝入origin的数据模块，如下：

注意上图中有3列Y，为了便于成图，选中上图的D(Y)列，单击右键，在跳出的小框中选择“Set as X ”, 然后得到如下界面：

选中C1s(碳的高分辨谱数据)的“关键数据”——上图蓝色框对应的两列，左键单击“蓝色框中的成图按钮”，即可得到C1s的谱图，然后选择"紫色框中的读图工具"，读出C1s谱峰的横坐标, 即C1s的结合能(284.7eV), 如下：

由于外来污染碳的标准值为284.8 eV, 故荷电校正值为284.8 eV - 284.7 eV = 0.1 eV。也就是说，此次测试的这个样品，所有元素的结合能均需要+0.1 eV作为荷电校正，从而得到准确的结合能值。选中D(X2)列，右键，在弹出的小框中选择“Set Column Values”；

然后在弹出的“sheet”中选择Col(A), 输入“Col(D)+0.1”，点击“Apply”如下：

用同样的方法将A(X1)列——对应O1s(氧的高分辨谱数据)的结合能，所有数据加0.1。

接下来进入数据处理重要环节——分峰拟合

高分辨谱经过分峰拟合之后，才可以用来确定元素的化学态，或者通过反应前后样品的高分辨谱图比对来得