一、量子效率(QE)的核心公式与物理机制
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基础定义
QE表征SPAD将入射光子转化为有效电子的效率,是光子探测效率(PDE)的核心变量,其完整分解公式为:
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QE(λ):波长依赖性,由材料带隙与吸收系数决定(如硅在940 nm吸收深度约30 μm)。
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CE(电荷收集效率):依赖电场分布与载流子扩散路径(索尼通过p型表面掺杂优化至98.8%)。
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TP(触发概率):与电场强度呈指数关系(索尼达92.9%)。
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光学损耗修正
实际系统中需考虑填充因子(FF)与光学损失(反射/透射):
示例:索尼通过无间隙微透镜(Gapless OCL)实现100% FF,结合金字塔表面衍射结构