ESD与TCAD-Silvaco仿真(浙江大学)

ESD与TCAD-Silvaco仿真 本资源摘要信息主要介绍了利用TCAD-Silvaco仿真器件对ESD（Electrostatic Discharge，静电放电）特性进行仿真分析的例子，该讲义来自浙江大学，共163页。 一、TCAD简介 TCAD，全称为Technology Computer Aided Design，是一款集成了工艺、器件仿真的软件包。常用的TCAD软件有Tsuprem4/Medici、Athena/Atlas、Dios/Dessis等。在TCAD中，可以对工艺、器件进行仿真模拟，预测其性能和特性，从而提高设计效率和准确性。 二、TCAD在ESD仿真中的应用 在ESD仿真中，TCAD软件可以模拟ESD过程，预测ESD的影响和破坏机理。通过TCAD仿真，可以对ESD保护电路进行优化设计，提高电路的ESD抗扰能力。 三、Tsuprem4/Medici软件简介 Tsuprem4/Medici是一款二维工艺、器件仿真集成软件包，由Avanti公司开发。Tsuprem4是工艺仿真软件，Medici是器件仿真软件。通过Tsuprem4可以模拟工艺过程，生成工艺仿真结果，然后将结果导入Medici中进行器件仿真，从而进行较为精确的器件仿真。 四、Tsuprem4软件详解 Tsuprem4软件具有以下特点： * 可以模拟硅IC工艺制造过程，包括离子implantation、Epi growth、Diffusion、Oxidation等。 * 可以模拟工艺过程，生成工艺仿真结果。 * 支持两维、支持高达40,000个节点。 * 编写于C语言。 五、Medici软件详解 Medici软件是器件仿真软件，可以对器件进行电气仿真，预测器件的电气特性。Medici软件可以与Tsuprem4软件集成，实现从工艺到器件的仿真。 六、TCAD在ESD仿真中的优点 使用TCAD软件进行ESD仿真具有以下优点： * 高效：TCAD软件可以快速模拟ESD过程，预测ESD的影响和破坏机理。 * 准确：TCAD软件可以生成高精度的仿真结果，预测ESD对电路的影响。 * 低成本：使用TCAD软件进行ESD仿真可以大大降低试验成本和时间。 TCAD-Silvaco仿真器件对ESD特性进行仿真分析的例子，具有很高的实践价值，可以为设计者和研究人员提供有价值的参考。