ESC- Electrostatic Chuck (静电吸盘)

一、什么是ESC

静电卡盘，简称ESC，E-chuck（Electrostatic Chuck），在半导体设备中价值比较高的部件之一.
以刻蚀设备为例，在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑，以静电吸附的方式保证其固定，为晶圆提供动态恒定的温度。

二、ESC 分类

2.1 按照极性分类

2.1.1 Unipolar Type ESC 单极型静电吸盘

wafer 从plasma 等离子体中获取电荷，点击通电，产生异向电荷，通过电子之间的库仑力吸附电荷

2.1.2 Bipolar Type ESC 双极型静电吸盘