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三坐标测量如何实现占地面积小？测量精度高？仪器长时间精度稳定？

2035085 2025-08-28 | docx | 622.79 KB | 次下载 | 免费

资料介绍

高精度三坐标测量机，结构形式基本上都是固定桥形式，固定桥精度高，但是占地面积都比较大。Mizar Gold相对于固定桥，占地面积小，总重量轻，运输安装方便。

相信大家在用三坐标测量探测误差（MPEP）的时候，都会发现一个现象，垂直度补偿值越多（垂直结构没调到位，通过软件补偿垂直度），探测误差越差？

三坐标的误差补偿，主要就是通过软件对结构的21项系统误差进行补偿。由于三坐标机器是X/Y/Z三个平移运动轴，像直线度这种误差比较容易通过主机移动来补偿，角度误差，会通过算法转化成平动进行补偿。但是，结构上角度是始终存在的，没办法消除，就会因为角度带来残余误差。

三坐标采用陶瓷横梁和Z轴，确保了横梁和Z轴的平面精度在2μm以内，给整机的角度误差控制在2角秒以内。同时，陶瓷的刚性远远优于花岗岩和铝合金，这样横梁在受到滑架压力的时候，也基本没有变形量。因此，通过减小系统的结构误差，减小补偿量，从而提高系统的精度。

采用花岗岩或者铝合金，长时间的稳定性很难保证，采用陶瓷，能使导轨保持长时间的稳定。

如下图所示，同一台机器，不同的横梁材料，长时间检测横梁XRY的角摆，陶瓷横梁的角摆稳定在0.5角秒以内波动，而铝合金，XRY角摆的波动量在2角秒。

其次，通过将减速器的传动，设计为多楔带，能够减少减速器传动过程中的振动和刮边，从而减少机器测量过程中的齿形啮合带来的不确定性，提高稳定性。

除此之外，三轴采用非金属材料，热膨胀系数低且基本相同，实现三轴热匹配。

而且，Mizar Gold三坐标测量机配备温度传感器，能对温度变化进行补偿。从而提高设备的精度和稳定性。

仪器三坐标测量机

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